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浙江大学杭州国际科创中心研制出自主知识产权技术生长2英寸的氧化镓晶圆 在国际尚属首次

        顶点光电子商城2022年5月9日:近日,浙江大学杭州国际科创中心成立于2019年,科创中心以打造世界一流水平,引领未来发展的全球顶尖科技创新中心为目标。(以下简称“科创中心”)先进半导体研究院在首席科学家杨德仁院士的带领下,利用全新的熔体法技术路线研制氧化镓体块单晶以及晶圆(氧化镓晶圆对高性能功率器件研发有着重要价值)。研制出2英寸的氧化镓晶圆。此次研制,需要整整三天时间。


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        氧化镓单晶生长在1800摄氏度的高温熔炉,从准备原料到最后单晶产品生成,需要整整三天。


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        而此次浙江大学杭州国际科创中心采用新方法减少了铱的使用,成本更低。研发团队张辉表示:使用新技术路线生长的氧化钾晶圆具有特异性,使得制作的功率器件具较好的性能,并且是采用熔体法新路线,减少了贵金属铱的使用,使得氧化镓生长过程具有更大的产业化前景。


        使用完全自主知识产权技术生长的直径2英寸的氧化钾晶圆在国际尚属首次,在国际上下一步,计划在两年内制造出直径4英寸级别的大尺寸氧化镓晶圆。