顶点光电子商城2022年6月14日消息：近日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）宣布，公司12寸KrF涂胶显影设备已于10日入驻厦门士兰集科。

         芯源微表示，此次，公司12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的交付，将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务，为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。

      涂胶显影设备是在光刻工序中和光刻机配套使用的机器，主要起到涂胶、烘烤和显影的作用。涂胶显影设备是集成电路生产过程中不可获缺的设备，能够直接影响到光刻工序中曝光图案的形成。以及后道的封测和LED制造中，涂胶显影设备应用领域广阔，现已广泛应用于集成电路、OLED、LED、化合物半导体&功率器件等先进制造领域，在晶圆生产中也起到重要作用。

        芯源微成立于 2002 年，专业从事光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备等半导 体专用设备的研发、生产和销售，并提供半导体装备与工艺整体解决方案。公司生产的涂胶显影设备成功打破国外垄断，填补国内空白。经过多年技术研发， 公司已在集成电路后道先进封装&前道晶圆加工、LED 芯片制造等领域取得重要突破。

        半导体设备行业景气度延续，涂胶显影设备需求持续提升，晶圆产能东移背景下，前道涂胶显影市场空间持续提升。全球范围内来看，受益半导体行业景气度提升，前道涂胶显影设备市场需求稳步提升。

         杭州士兰微电子股份有限公司（600460）坐落于杭州高新技术产业开发区，是专业从事集成电路芯片设计以及半导体微电子相关产品生产的高新技术企业。公司成立于1997年9月，总部在中国杭州。2003年3月公司股票在上海证券交易所挂牌交易，是第一家在中国境内上市的集成电路芯片设计企业。得益于中国电子信息产业的飞速发展，士兰微电子已成为国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一，其技术水平、营业规模、盈利能力等各项指标在国内同行中均名列前茅。

          此次搬入仪式完成后，芯源微与士兰集科签署了战略合作协议。