顶点光电子商城2022年8月9消息：近日，江苏天芯微半导体设备有限公司（以下简称“天芯微”）首台先进制程硅基外延设备首发仪式在无锡高新区举行。

         天芯微成立于2019年8月，是先导集团旗下的一家集成电路高端装备制造商，项目前期投资数亿元，专注于半导体前道关键工艺机台研发，首款产品是IC制造中前道外延设备，广泛应用于28nm及以下先进工艺制程的逻辑芯片代工、3D NAND 存储产品、以及诸多功率器件的生产制造。团队核心人员来自世界知名半导体设备公司，拥有30多年半导体行业经验，曾主持和参与多款前道工艺设备的研发和验证工作等，公司以硅基外延技术为核心，致力于半导体前道关键工艺设备的研发与制造，为集成电路行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。

          天芯微此次发布的Epi 300 Compass AP硅基外延减压设备是半导体前道工艺中的关键设备，广泛应用于功率器件、28nm及以下先进制程的逻辑、存储器件的生产制造。Epi 300 Compass AP的各项性能均达到了国际先进水平，部分核心性能已经超过国际同类产品，并得到了客户的肯定。