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魅杰光电首台28nm套刻精度量测设备出货发运

          顶点光电子商城2024年2月5日消息:近日,魅杰光电科技(上海)有限公司的首台28nm套刻精度量测设备成功在浦东张江出货,标志着魅杰光电成为国内为数不多的技术实力和技术储备达到国内关键工艺节点上的企业。


           魅杰光电科技(上海)有限公司是一家以先进光学和计算机图形图像技术为基础,为半导体晶圆制造提供工艺控制与良率管理相关的量检测装备的公司,提供基于光学设计、图像处理、算法分析以及运动控制等技术在内的光、机、电、算、软一体化半导体量检测解决方案。其产品主要涵盖套刻精度量测、全自动有图晶圆缺陷检测、无图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测、全场式非接触曝光机等五大类别。


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         据悉,随着出货仪式结束,魅杰光电“28nm套刻精度量测设备正式装车出货。


          此举标志着魅杰光电在国内关键工艺节点上的技术实力和技术储备已达到国内领先水平,成为为数不多的拥有此项技术的企业。此设备可广泛应用于半导体制造领域,为提升我国半导体产业的自主创新能力提供了强有力的支持。