顶点光电子商城2025年8月12日消息:近日,SK海力士为推动DDR5及高带宽存储(HBM)产品性能升级,并在新一代存储技术中占据领先地位,计划在量产1c DRAM上应用六层极紫外光(EUV)工艺。
EUV技术采用13.5纳米波长,可在电路中实现更精细的结构刻画,减少多重图案化步骤。传统DRAM制造多采用EUV与深紫外(DUV)工艺混合,而SK海力士此次在1c DRAM全面采用六层EUV工艺,不仅可以简化生产流程,还有助于提升产品良品率和利润率。
通过该工艺,SK海力士能够生产更高密度、更高速、更节能的DDR5及高容量HBM芯片,显著提升产能和良品率。尤其在HBM4等未来产品中,1c DRAM的应用有望带来性能与容量的双重突破,为人工智能、高性能计算等领域提供更强支撑。
在第六代DRAM的研发中,美光、三星电子和SK海力士呈现出截然不同的技术路线。美光采取“有限EUV”策略,三星电子已在D1c制程中引入超过五层EUV工艺。SK海力士此次在1c DRAM上应用六层EUV工艺,刷新了行业标准,在新一轮技术竞赛中,此举不仅巩固了其在存储市场的领先地位,也为其与三星等竞争对手的较量增添了新优势。
目前1c DRAM尚未广泛应用于主流消费级内存,但SK海力士正积极探索其在更大容量DDR5及HBM产品中的可能性。未来,随着1d和0a DRAM等下一代产品的发展,SK海力士计划将EUV融入到这些技术中,最终实现高数值孔径(High-NA)EUV技术的集成。