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天成半导体12英寸SiC新突破

        顶点光电子商城2025年10月17日消息:近日,天成半导体官微宣布,依托自主研发的12英寸碳化硅长晶设备成功研制出12英寸高纯半绝缘碳化硅单晶材料,12英寸N型碳化硅单晶材料晶体有效厚度突破35㎜厚。


         据悉,天成半导体现已掌握12英寸高纯半绝缘和N型单晶生长双成熟工艺,且自研的长晶设备可产出直径达到350㎜的单晶材料。


         资料显示,天成半导体成立于2021年8月,是一家专注于第三代半导体碳化硅衬底材料研发、生产及晶体生长装备制造的高新技术企业。


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          近年来,天成半导体在碳化硅领域取得了诸多重要进展,率先研发出可量产的8-12英寸导电型和半绝缘型碳化硅单晶材料。


          2022年实现了6英寸导电型和半绝缘型碳化硅晶锭的小批量生产;2023年6月实现8寸SiC单晶技术研发突破,开发出了直径为 202mm 的8寸SiC单晶;2024年实现了8英寸SiC单晶批量生产,产品厚度均匀性误差小于2微米。


           今年7月,天成半导体宣布成功研制出12英寸(300mm)N型碳化硅单晶材料,攻克了大尺寸扩径工艺和低缺陷N型单晶材料的生长工艺,其创新采用的电阻炉工艺使晶体生长速度突破0.4mm/h的行业瓶颈,微管密度降至0.5个 /cm² 以下,良率达到65%。


          截至目前,天成半导体已形成了碳化硅单晶炉制造、碳化硅粉料制备、6-12英寸碳化硅单晶材料生长、生产耗材加工等完整的生产线。实现了从碳化硅长晶设备制造、粉料、籽晶、热场设计到晶体加工等全流程工艺完全自主可控。