顶点光电子商城2025年10月24日消息：上海优睿谱半导体设备有限公司（简称“优睿谱”）10月23日在官方微信宣布，公司近日发布全新产品系列：暗场无图形晶圆缺陷检测设备 LSRVision，并成功交付国内头部客户。

         据介绍，LSRVision系列产品是专用于晶圆表面缺陷检测，如Particle，Scratch，Crack, Slipline, Hex Bump, Epi, Shower Head, Crescent, Pit等多种缺陷，最高可检测60nm尺寸的颗粒；通过适配不同波长的激光器，可广泛应用于碳化硅衬底和外延片表面缺陷检测，氮化镓（GaN）&氧化镓（Ga2O3）衬底和外延片表面缺陷检测，硅、砷化镓（GaAs）&磷化铟（InP）衬底和外延片表面缺陷检测。

            与传统线扫&拍照模式的AOI（Auto Optical Inspection）检测技术相比，优睿谱LSR系列设备采用多波长光学系统设计，搭载高速旋转Spindle（每分钟转速＞5000转），并采用多组光电倍增管匹配滤光片进行信号采集。LSR系统实现最多可同时采集八通道（散射、光致发光、反射、形貌及相位信息等）信号，保证高灵敏度的同时也保证了缺陷检测的准确度，并最大程度上保持较高的产率（WPH）。

             优睿谱成立于2021年，由长期从事半导体行业的海归博士领衔，协同国内资深的半导体前道制程量测设备技术团队共同发起成立，致力于打造高品质的半导体前道量测设备，提供半导体前道光学测量、检测以及电性能测量综合解决方案。