最近,意法半导体(STMicroelectronics,简称ST)在一次行业会议上展示了一款量子点短波红外(SWIR)图像传感器,该图像传感器采用的是全局快门,像素间距为1.62µm。
量子点(quantum dot,简称QD)是人造的直径在2-10nm之间的半导体纳米晶体。量子点拥有独特的光电特性,其尺寸很小,足以产生量子效应,可以通过改变波长或颜色来调节能级。通过改变量子点的尺寸,还可以是量子点颗粒吸收或者发射特定波长的光。
意法半导体展示的这款QD SWIR图像传感器在1400nm的波长下,量子效率可以达到60%,快门效率接近100%(真实值为99.98%)。值得一提的是,这款图像传感器是在300mm晶圆上制造,也就是说,采用的是成熟的工艺制程,因此能够以较低的成本进行规模化量产。据意法半导体透露,这款图像传感器的成本可以被压缩到一美元左右,这已经接近有些硅基图像传感器的成本了。
意法半导体的QF验证晶圆,展示了基本QF光电二极管测试结构(a)、像素矩阵测试芯片(b)和完整图像传感器产品(c)
由于在短波红外的波长范围内,InGaAs材料比硅材料具有更好的光谱响应,因此,目前市面上应用最多的是采用InGaAs制成的SWIR图像传感器。InGaAs铟镓砷图像传感器的最大问题是成本高昂,一颗的成本就可能高达几百到几千美元。量子点技术的出现,可以很好的解决成本问题。比如,可以对采用胶体碳量子点(CQD)技术的图像传感器进行适配,使其对短波红外光(SWIR)敏感,同时还能降低成本。
正是因为可以降低成本,碳量子点(CQD)短波红外(SWIR)成像技术在最近几年的发展非常迅速。意法半导体的这款图像传感器,正是该技术领域的最新产品。虽然目前市面上提供CQD SWIR图像传感器的厂商不止意法半导体一家,比如像Emberion、Imec(比利时微电子研究中心)和SWIR Vision Systems等,但是,却只有意法半导体真正实现了规模化量产。正是由于意法半导体的规模化量产,才使包括消费电子在内的大批应用,有机会使用SWIR成像技术,而且成本还不贵。
意法半导体的SWIR量子薄膜光电二极管在优化的层厚下,其量子效率峰值可以超过60%
也就是说,意法半导体使其客户可以用硅基图像传感器的成本,享受SWIR成像技术,可想而知,这将会对市场产生多么大的颠覆性。正是由于其成本低廉,相比InGaAs铟镓砷图像传感器市场,CQD SWIR图像传感器市场的体量和影响将会更大。
意法半导体基于硫化铅的量子点薄膜,是在晶圆阶段利用溶液制作,一步一步通过沉淀,融合进CMOS工艺之中的。意法半导体CQD SWIR图像传感器的最大缺点是,量子效率比不上InGaAs铟镓砷图像传感器,与其他厂商的CQD传感器相比,在性能上也没有很大的提升。但意法半导体解决了一个非常现实的问题,那就是成本问题,这会增加许多之前不曾有的应用领域,对生活方式和工业生产产生变革作用。