顶点商城2022年1月25日消息,位于爱尔兰莱克斯利普(Leixlip)的英特尔34号晶圆厂(Fab 34)已经接收了首批设备,最快将在明年正式上线生产。34号晶圆厂主要生产Intel 4工艺晶圆,也就是7nm工艺晶圆。这意味着英特尔在欧洲的扩产计划得到了进一步的落实。英特尔已经率先从ASML获得了目前还处于研发阶段、世界上最先进的高NA EUV光刻机,将用于1.8nm工艺技术的研发和生产。
英特尔34号晶圆厂总共投资了70亿美元,是在2019年开始动工的,建成之后将使得英特尔在爱尔兰的晶圆制造能力提升一倍,同时也为英特尔的欧洲市场提供先进工艺的技术支持。
据国外相关媒体报道,在此次首批接收的设备中,最先被推入34号晶圆厂洁净室的设备是光刻胶显影设备,它的作用是给晶圆精确地加上抗蚀剂涂层,然后才能进入EUV光刻机进行对准和曝光。
正在被推入洁净室的光刻胶显影设备
自从英特尔宣布重返晶圆代工领域后,先进工艺研发和产能扩充一直都是其重点关注的内容。此次引进新设备,正是产能扩充的第一步。目前,英特尔在美国的新墨西哥州、俄勒冈州、亚利桑那州和俄亥俄州,以及马来西亚、以色列等国家和地区新建的晶圆厂的资产总数已经超过了数百亿美元。另外,英特尔计划在欧洲再建一座晶圆厂,选址还未最终确定,大概是在意大利、德国和法国中三选一。