红外图像传感器被广泛应用在生物成像、机器视觉和物质鉴别等高科技领域,是光电传感的基础技术。目前,市面上现有的红外图像传感器,由于受到单晶基板工艺和加工温度等因素的制约,主要采用的是异质集成的技术路径,来实现红外波段的光电二极管与硅基读出电路相连。这种技术路径虽然能够解决红外图像传感器的成像问题,但是分辨率提升的空间不大,而且工艺复杂,严重影响规模化生产,进而导致成本居高不下。
还有一种技术路径,是采用单片集成的方式,将红外光电二极管与硅基读出电路相连。这种技术路径的工艺更加简单,可更好的控制成本,同时还有望大幅提升红外图像传感器的分辨率。
提到单片集成工艺,就必须说一说硫化铅胶体量子点(简称PbS CQD)。PbS CQD是一种采用低温溶液来进行加工的工艺,相比以往采用高温外延生长出来的红外材料,衬底的兼容性更好,可以实现与硅基读出电路的单片集成。
a) 成像芯片整体示意图;b) 成像芯片横截面示意图;c) 成像芯片的横截面扫描电镜图像;d) 成像芯片的俯视示意图;e) 单个像素的电路图;f) 电路的读出时序
但是,采用PbS CQD制作出来的器件,在于硅基读出电路进行单片集成时,其耗尽区与入射光相距较远,这就导致制作出来的红外图像传感器的量子效率很低。
为了解决这个问题,华中科技大学光电国家研究中心和光电信息学院的技术团队,联合海思光电子有限公司,利用PbS CQD技术,研制出了一种采用顶入射结构的光电二极管,专门用来适配硅基读出电路,最终生产出来的产品可以达到30万像素,为国内首款采用PbS CQD技术研制出来的,性能达到商用铟镓砷(InGaAs)图像传感器的红外图像传感器。
a) 智能手机(硅基成像芯片)和d) PbS CQD成像芯片在自然光照射下拍摄的苹果和水图片;b) PbS CQD成像芯片和e) InGaAs成像芯片在940 nm光照下拍摄的手掌血管的照片;c) 图b中的红色虚线(线1和线2)的灰度变化;f) 图e中的红色虚线(线1和线2)的灰度变化;g) PbS CQD成像芯片和InGaAs成像芯片在940 nm光照下拍摄的水和乙醇照片(S1和S3为水溶液,S2和S4为乙醇溶液);h) 溶液S1-S4 的归一化灰度直方图;i) 不同浓度(25%、50%、75% 和 100%)的酒精的归一化灰度直方图
目前,这款PbS CQD红外图像传感器,已经完成了在静脉成像、水果检测和溶剂识别等应用领域的测试,应用前景有望进一步拓展。