顶点光电子商城2022年10月27日消息：近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布：全球第 500 台 MOCVD 设备顺利付运国内一家专业从事 LED 外延片和芯片的研发生产制造商。

         本批次运付的第 500 台 MOCVD 设备为中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ®，主要用于氮化镓基 Mini LED 外延片量产。

          Prismo UniMax是MOCVD设备系列新一代产品，该产品系列还包括Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年，中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出了Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5产品。

          作为专为高性能 Mini LED 量产而设计的 MOCVD 设备，Prismo UniMax ® 具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达 4 个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax ® 配置了 785mm 大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax ® 创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升 LED 波长均匀性。

          此次交付是中微公司的一次重要突破，为今后MOCVD产品市场进一步开拓奠定了坚实的基础。

           中微半导体设备（上海）股份有限公司成立于2004年，法定代表人为尹志尧。经营范围包括研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。