顶点光电子商城6月16日消息：近日，北京航天航空大学成功研制高灵敏度石墨烯MOEMS谐振压力传感器。

            该传感器表现出1.7Hz/Pa的高压力灵敏度，比硅类的同类产品的灵敏度高5倍。采用阳极键合实现了10-3Pa的真空封装，大大降低了压力差下基底和石墨烯之间高空气阻尼和气体渗透造成的能量损失。

            此外，全光封装腔结构有助于实现6.9x10-5 Pa-1的高信噪比和低温度漂移(0.014%/C)。所提出的方法为使用二维材料作为敏感膜的压力传感器的长期稳定性和能量损失抑制提供了一个很好的解决方案。

            石墨烯MOEMS谐振压力传感器是利用石墨烯和微机械系统（MOEMS）技术结合而成的一种压力传感器。石墨烯是一种单层石墨的二维材料，具有高导电性、高强度、高柔性等特点，因此可以用于制作高灵敏度的传感器。工作原理是利用微纳加工技术制作出一种基于石墨烯膜的柔性微弹性谐振器，并利用它受到压力变化时的谐振频率发生变化的原理来测量压力。由于石墨烯的高灵敏度，这种传感器可以测量非常微小的压力变化，例如几千帕的气体压力变化。

           石墨烯MOEMS谐振压力传感器具有响应速度快、精度高、温度稳定、成本低廉等优点，因此在工业自动化、医疗和航空等领域有很大的应用潜力。它们可以用于测量气体压力、血压、风压、液体压力等多种压力参数，为相关领域的研究和工业应用提供支持。