顶点光电子商城2025年5月27日消息：近日，华鑫微纳“8英寸MEMS晶圆全自动生产线”正式投产，标志着国内MEMS晶圆制造领域迈入新阶段，对推动传感器产业升级、完善产业链生态具有里程碑意义。

         该生产线为全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线，集成硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成及2.5D/3D微系统集成技术，工艺兼容性强、自动化水平高。规划月产能达3万片，首期目标为2025年实现1万片/月达产，将成为国内MEMS晶圆制造的核心产能基地。

          作为中国传感谷公共服务平台的核心拼图，生产线面向全球智能传感器企业提供开放式、定制化代工服务，覆盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等高端领域。目前已与50家客户达成合作意向，意向订单约21万片，另有3万片合同正在洽谈中，客户群体覆盖汽车电子、高端装备等战略新兴产业。

          8英寸晶圆是MEMS传感器的基础材料，此前国内高端MEMS芯片依赖进口。该生产线投产将打破技术封锁，推动传感器产业链自主可控。压电MEMS量产线的建成，实现了国内该领域“零的突破”，为声学、超声等高精度传感器提供国产化解决方案。

           生产线所在的蚌埠中国传感谷已集聚200余家传感器相关企业，形成从研发设计、晶圆制造到封装测试的全产业链布局。政府通过建设共享大宗气站、表面处理中心等配套设施，降低企业运营成本，吸引更多企业入驻，加速产业生态完善。项目总投资50.6亿元，带动地方就业与税收增长，助力蚌埠打造“千亿级”智能传感器产业集群。精密微纳制造技术全国重点实验室长三角产教融合协同中心等创新平台落地，推动产学研深度融合，为产业升级提供技术支撑。

         随着生产线产能释放，华鑫微纳将进一步拓展汽车电子、医疗健康、工业物联网等领域的市场份额，推动MEMS传感器国产化替代。

          生产线将持续优化工艺流程，探索更先进的微纳制造技术，为下一代传感器研发提供平台支持，助力国内传感器产业向高端化、智能化迈进。华鑫微纳“8英寸MEMS晶圆全自动生产线”的投产，不仅是企业技术实力的体现，更是国家战略新兴产业布局的重要成果。其“开放式、定制化”的代工模式，将有效降低中小企业创新门槛，加速传感器产业生态繁荣，为全球智能传感器产业格局重塑贡献中国力量。