顶点光电子商城2025年9月24日消息：近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司宣布，其自主研发的首台高精度步进式光刻机（WS180i系列）已正式完成组装调试并成功出厂交付。

        与公众通常关注的用于制造先进手机和电脑CPU的极紫外（EUV）光刻机不同，WS180i系列光刻机精准指向了正在蓬勃兴起的化合物半导体和高端光电器件制造领域。它主要应用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域。该光刻机覆盖2-8英寸晶圆，分辨率达1.5μm-0.35μm，能适配硅片、蓝宝石、SiC等不同衬底的光刻需求，满足多种半导体制造场景。

         配套设备，稳顶聚芯还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备（量测精度10nm）、超精密光学成像质量评价系统、薄膜测量系统（膜厚测量范围10nm-100μm）等配套设备，形成较为完整的半导体装备产品线。

         深圳稳顶聚芯技术有限公司成立于2023年5月，位于深圳市南山区，注册资本119.21306万元，是一家专注半导体核心装备研发、制造与销售的高科技企业。公司核心团队85%以上具备国内外知名大学研究生学历，成员来自国内半导体顶尖科研院所及全球500强企业，研发的集成电路工艺设备已通过知名厂商认证。公司拥有2000多平米研发及生产厂房，包含干级装配调测洁净间、百级和十级实验室洁净间，可支撑高端装备研发生产。当前具备年产20台光刻机的产能，预计2025年实现营收1.4亿元、净利润4480万元。

          稳顶聚芯WS180i系列光刻机的成功出厂，填补了国产步进式光刻机在化合物半导体领域的空白，打破了国外技术垄断。该光刻机的推出将推动功率器件、光电器件等领域的国产化进程，提升我国半导体产业的自主可控能力。此前，稳顶聚芯已通过知名厂商设备认证，获得了客户的高度好评。此次光刻机的成功出厂，将进一步巩固公司在半导体装备领域的市场地位。