滨松OPAL光谱仪，精准驾驭低温等离子体

等离子体基于热力学平衡状态可分为高温等离子体和低温等离子体。两者的区别为，低温等离子体处于非平衡状态，电子温度极高（1万-10万K），足以高效驱动化学反应，而离子与中性气体的温度却可接近室温；高温等离子体处于热力学平衡，粒子温度趋同，极其炽热，如恒星内部。

低温等离子体这种独特的“冷热共存”特性，使其成为一个能精准调控的“化学实验室”，可在不损坏被处理材料（如芯片、塑料、人体组织）的前提下，完成刻蚀、沉积、灭菌、表面活化等复杂任务，应用遍及半导体、材料、生物医学及环保能源等诸多行业。

要精准驾驭低温等离子体这一“化学实验室”，就必须有一双能实时“看清”其内部复杂反应的“眼睛”。光谱诊断正是这双眼睛，它通过分析等离子体发射或吸收的光谱来反推其温度、密度、成分、电场分布等关键参数，具有不可替代的实时监测能力（毫秒至纳秒级）、能同时获取多参数，并对工艺优化与基础研究至关重要。

然而，正是这项极具价值的技术，在走向更精准、更普及的应用过程中，却面临着三大核心挑战，限制了其巨大潜力的充分发挥。

首先是高精度设备的工业集成难题。许多高精度光谱诊断设备复杂、笨重、操作专业，难以集成到紧凑、需连续运行的工业产线中。其次是动态范围不足，难以兼得强弱信号。无法在一次测量中同时清晰捕获高强度和低强度的光谱信息，常导致信息不完整，形成测量盲区。最后是测量的准确性。许多关键参数的信息淹没在噪声里面，信噪比不足导致无法测准，微弱信号难以提取。

以上行业痛点的解决，在滨松的新生力军——高动态范围光谱仪OPAL身上看到了希望的曙光。它正是针对上述挑战应运而生的解决方案。

OPAL-Luxe 是一款紧凑型多通道光谱仪，具有前所未有的超高动态范围。它能够在具有极高动态范围的宽波长范围内同时进行多波长光谱测量，当同时存在强弱信号时尤其有效。新设计和开发的光谱光学元件为具有高灵敏度、高波长分辨率的顶级模型，可以充分利用其高动态范围，同时最大限度地减少杂散光。