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SWIR与InGaAs图像传感器 索尼SWIR图像传感器

        全球著名大型综合性跨国企业索尼研发了一款短波红外(short-wavelength infrared,简称SWIR)图像传感器。该图像传感器部署了5µm像素,创造了传感器像素最小的记录。另外,这款图像传感器还涵盖了可见光光谱。


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短波红外(SWIR)与砷化铟镓(InGaAs)图像传感器


        SWIR从狭义上来分类,是指波长为1.1-1.7μm的红外光。从广义上来分,扩大为0.7-2.5μm的波长范围。由于硅基传感器的波长上限只能达到约1.0μm,所以,在SWIR范围内使用的传感器,绝大部分都是铟镓砷(InGaAs)图像传感器


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滨松InGaAs线阵图像传感器


        InGaAs图像传感器可以覆盖基本上所有的SWIR波段,甚至向下可以扩展到550nm。铟镓砷(InGaAs)图像传感器可以分为线阵和面阵两种类型,其中,InGaAs面阵图像传感器受到由美国主导的国际武器贸易条例(ITAR)的限制,只能在获得适当许可的条件下,用于特定的商业用途。


短波红外(SWIR)的特性


        为什么SWIR会有从广义和狭义的两个波长分类呢?与SWIR相对应的,还有MIR(中红外)和LWIR(远红外),所有物体本身都会辐射MIR和LWIR。这就是从广义上的分类。


        从狭义上来讲,波长0.75μm-1.1 μm的红外光,我们又习惯称之为近红外(Near Infrared,简称NIR)。近红外最大的应用是夜视成像,利用周围环境的星点光和背景辐射发出的近红外光,进行视觉成像。


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        SWIR具备很多可见光不拥有的特性。SWIR可以穿过烟雾、水蒸气,甚至是硅基材料物体。很多在可见光环境下,肉眼无法区分的颜色,在SWIR设备下可以非常轻松的区分。


短波红外(SWIR)的应用范围


        SWIR具有非常广泛的应用。结合热成像相机来检测某些范围的红外光,可以检测体温。根据SWIR在反射和吸收方面与其它可见光的不同特性,SWIR图像传感器可以将一些人眼无法识别的事物具象化,例如生产检查、过程质量控制、识别与排序、电子板检查等。


索尼短波红外(SWIR)图像传感器


        以往的图像传感器由于像素很大,尺寸的限制使得无法在传感器中放置更多个像素,导致图像质量不高,还需要对生成的图像进行繁琐的后期处理。索尼SWIR图像传感器成功将像素缩小到了5µm,成功的解决了这个问题。通过将像素小型化,索尼SWIR图像传感器能够识别以前无法检测到的极小损坏。


        另外,传统图像传感器使用凸块连接,例如使用金属球将像素内的磷化铟层与硅层连接起来。为了减小像素尺寸,必须将金属球精准地对准微米级的凸点间距,这操作以来本身就很困难,而且还造成了成本的上涨。


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        索尼采用铜-铜(Cu-Cu)连接的方法来解决这个问题。通过铜焊接盘来提供连续供电,可以在堆叠背照式CMOS 图像传感器(顶部芯片)和逻辑电路(底部芯片)时,增加更多的设计自由度,同时还能在保证性能的前提下,为设计更紧凑的尺寸提供了可能。


        SWIR图像传感器集成了由InGaAs材料制成的光电二极管。由于InGaAs必然会带有磷化铟 (InP)层,而磷化铟 (InP)层会阻挡可见光。索尼采用的铜-铜(Cu-Cu)连接方式可以降低磷化铟 (InP)层厚度,以达到可以让可见光通过的程度。因此,索尼的SWIR图像传感器还可以在可见光下进行成像。