近日，浙江大学邱建荣教授团队和之江实验室谭德志博士团队通过合作研究，在科学杂志（Science）上发表了一篇题为《Three-dimensional directlithography of stable perovskite nanocrystals in glass》的论文。

        研究团队发现，飞秒激光（femtosecond laser，简称fs）诱导的空间选择性微纳分相和离子交换存在一定的规律。通过对这一规律的深入研究，该研究团队研发出了一种全新的飞秒激光三维极端制造技术。这种技术在一种特别制备的均匀透明无色的玻璃材料内部，制造出了三维半导体纳米晶结构，整个制造过程带隙可控。这一成果在该领域内尚属首次，在微型发光二极管和光存储的研发上具有重要意义。

        我们最常见的关于飞秒激光的应用，就是飞秒激光手术刀。飞秒激光就像手术刀一样锋利，想要利用飞秒激光进行精准的手术，离不开经验老道的主刀医生。这项涉及到飞秒激光的研究也是一样。

飞秒激光制作角瓣膜

        空间光调制器（SLM）就像是主刀医生的手一样，要能精确控制飞秒激光的强弱力度，还要保证其锋利度。这就要求空间光调制器首先要能承受高强度激光，也就是要具有很好的抗强光特性，然后还要拥有非常好的光利用率，减少能量的损耗，也就是不能让飞秒激光变钝了。

        论文中提到的光利用率高达90%以上（实测显示最高可达97%），拥有1280 ×1024像素的空间光调制器，就是滨松的SLM X13138。实验采用的激光器功率为2500mW，通过滨松SLM X13138调制出一个3X3的激光点阵，形成九道独立的激光光束，在均匀透明无色的玻璃材料内部进行多点加工。

滨松SLM X13138

        在PNCs的量子效率测量中，研究团队还选用了滨松的紫外近红外绝对量子产率测量仪---Quantaurus-QY Plus C13534-11。

滨松常规、板级、模块化SLM产品

        滨松对空间光调制技术的研究很早就开始了，至今已经经过了三代技术革新。随着量子通信和智能制造的兴起和发展，除了学术研究，还有工业生产等领域，滨松空间光调制器的应用范围会越来越广阔，应用场景也会越来越丰富。