顶点光电子商城2022年6月20日消息：佳能将于2022年8月初发售KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的“Grade10”产能升级配件包（以下简称“Grade10”升级包）。

        佳能半导体光刻机“FPA-6300ES6a”

         佳能是日本的一家全球领先的生产影像与信息产品的综合集团，从1937年成立以来，经过多年不懈的努力，佳能已将自己的业务全球化并扩展到各个领域。佳能的产品系列共分布于三大领域：个人产品、办公设备和工业设备，主要产品包括照相机及镜头、数码相机、打印机、复印机、传真机、扫描仪、广播设备、医疗器材及半导体生产设备等。佳能总部位于日本东京，并在美洲、欧洲、亚洲及日本设有4大区域性销售总部，在世界各地拥有子公司200家，雇员超过10万人。

     “重复步进并多次扫描曝光”的装置称为“步进扫描光刻机”，该装置通过控制掩模台与工作台的同步运动的方式实现曝光动作。由于步进式扫描光刻机的扫描仪可以在扫描操作中覆盖曝光视角，因此其主要优点是易于通过调整镜头的有效区域来扩大数值孔径（NA, Numerical aperture），并在镜头像差较小的部分进行曝光，从而更好地抑制曝光失真，带来高精度曝光。

        据介绍，KrF 半导体光刻机“FPA-6300ES6a”自发售至今，已经在生产存储器和逻辑电路的大型半导体器件制造厂商中收获良好口碑。新发布的“Grade10”升级包能够在 300mm 晶圆规格基础上，实现每小时 300 片晶圆的高效率生产。此外，这一升级包将于 2023 年在 KrF 半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的 200mm 兼容设备上得到应用。

    投入工厂运行的“FPA-6300ES6a”设备

    新发布的“Grade10”升级包能够在300mm晶圆规格基础上，实现每小时300片晶圆的高效率生产。此外，这一升级包将于2023年在KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的200mm兼容设备上得到应用。 对于已经在半导体器件制造厂商中投入使用的KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”*6，无需更换设备即可通过使用“Grade10”升级包进一步提高生产效率。

         佳能公司自1937年创业以来，始终秉承"共生"的企业理念，以创造世界一流产品为奋斗目标，向多元化和全球化发展。目前， 佳能的事业以光学技术为核心，涵盖了影像系统产品、办公产品以及产业设备等广泛领域。位于东京的集团总部与美洲、欧洲、 亚洲和大洋洲的各区域总部紧密联系，构筑了全球化与本土化有机结合的经营体制。

            如今，在半导体、液晶面板以及有机EL板等高科技制造业领域，佳能正在加快向亚洲生产基地、尤其是向中国市场的投资转移。